自動橢圓偏振測厚儀

自動橢圓偏振測厚儀  橢圓偏振測厚儀 型號：TPY-2

TPY-2型自動橢圓偏振測厚儀采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器，功率穩定波長精度高。  
儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數據采集及處理方式，于不同用戶的需要。  
規格與主要技術指標：  
測量范圍：       薄膜厚度范圍1nm-4000nm                  折射率范圍：1-10    
測量小示值： ≤1nm                                     入射角：20°- 90°精度≤0.05°  
度盤刻度：       每格1度                                 允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm  
偏振器步進角： 0.014°/步                                偏振器方位角范圍：0°- 180°      
測量膜厚和折射率重復性精度分別為：0.5nm和0.005  
TPY-2型自動橢圓偏振測厚儀儀器測量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時）  
光學中心高度：80mm    
成套性：主機、電控系統、USB接口、配套軟件（需配計算機）  
主機重量：26kg    外形尺寸：680*390*310mm