智能程控勻膠機 SC-100A

 智能程控勻膠機 型號：SC-100A

智能化設計、高配置、高穩定性機型。 
  PC控制系統，更好的可操控性可編程設計。 
  5“人機界面，全中文操作系統，更方便操作。 
  適合多種材料勻膠、制版工藝。   
廣泛應用于微電子、光電子、通訊、微機械、材料科學及新能源等領域 
  采用無刷伺服電機，全閉環數字編碼器測速機構，實測整個過程馬達速度。 機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、生銹，便于清洗。 
  排風和抽氣系統位于載片臺底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。透明可視密封蓋可以在旋涂作業時*隔絕光阻的溢出有效隔絕有毒氣味的散發。 
  配有真空泵電源輸出接口與抽氣接口，由界面集中控制。 
  旋涂程序：用戶可通過PC界面設置和存儲工藝參數，可存儲15組參數，支持多段速。 
  轉動速度：0-5,000rpm 
  旋涂加速度：0-5000rpm/sec，加、減速時間可自由設置（0-20000ms） 
  轉速穩定度  ±1rpm 
  測速精度<0.2rpm 
  工藝時間設定： 0-9,999.9 sec/step 0.1 精度 
  可鍍膜尺寸5mm-200mm(8〞) 
  旋涂作業均勻性：< ±3%                                                          
  支持基片厚度≤5mm 
  勻膠腔室內徑：Ф260mm ，不銹鋼材質、可視透明上蓋 
  抽氣接口: Ф8mm快速接頭，配Ф8mm透明抽氣管 
  樣片托：根據實際尺寸定制。 
  真空泵：配100L/min無油真空泵一臺 
  電源輸入： AC220V/240V 50HZ  
  整機功率：630W （真空泵230W  主機400W） 
  機身重量：11Kg   
  真空泵重：6.0Kg  
  設備尺寸：280×360×240mm